GSEM 시험분석센터 FIB분석 안내

FIB 분석, 이런 게 궁금할 때 찾아주세요.

TIP* FIB, 이온밀링과 무엇이 다를까요?

쉽게 말해, 넓은 면적은 이온 밀링, "딱 이 지점"을 봐야 할때는 FIB가 적합합니다.

[분석 종류]

01. "원하는 지점의 단면, 계면까지 선명하게 볼 수 있을까?"

[단면가공 ·  관찰]

SEM으로 위치를 찾은 뒤 그 지점만 정밀하게 깎아 내부 단면을 보여드립니다. 큰 전류로 빠르게 깎고 작은 전류로 표면을 다듬어, 다층 구조나 이종 접합 계면까지 선명하게 드러냅니다.

이런 걸 알 수 있어요

                    ●       층별 두께와 내부 구조

                    ●       계면 상태 (들뜸, 박리)

                    ●      보이드, 크랙 등 내부 결함

이렇게 보여드려요.

02. "금속의 결정립 모양을 바로 확인할수 있을까?"

[채널링 콘트라스트(Channeling Contrast) 관찰]

금속은 결정 방향에 따라 이온 빔에 반응하는 정도가 달라서 결정립마다 밝기가 다르게 나타납니다. 별도의 에칭 없이도 결정립 형태와 분포를 확인할 수 있습니다.

이런 걸 알 수 있어요

                    ●      결정립 모양과 크기

                    ●      단면 방향의 결정립 분포

                    ●      가공·열처리에 따른 조직 변화

이렇게 보여드려요.

03. "TEM으로 원자 배열까지 보고 싶다면?"

[TEM 박면(Lamella) 제작]

TEM으로 관찰하려면 전자가 통과할 만큼 아주 얇은 시료가 필요합니다. DB550은 원하는 위치에서 박편을 잘라내고, 장비 안에 내장된 나노 매니퓰레이터로 옮겨 최종 두께까지 가공합니다.

이런 걸 알 수 있어요

                ●     원하는 위치에서 정확히 채취한 TEM 시료

                ●     원자 배열·격자 구조 관찰용 박편 (STEM-HAADF 등)

이렇게 보여드려요.

관찰 결과

04. "연구에 필요한 미세 구조물을 직접 만들 수 있을까?"

[맞춤 나노 가공]

이온 식각과 Pt 증착을 이용해 원하는 모양의 미세 구조물을 제작합니다. 이미지(비트맵) 파일을 불러와 그대로 패턴을 가공할 수도 있습니다.

이런 걸 알 수 있어요.

                ●     마이크로 기둥(Micropillar): 미세 기계적 특성 시험(in-situ)용

                ●     APT 시료: 3차원 원자 단위 성분 분석용

                ●     맞춤 패턴: 이온 식각, Pt 증착

이렇게 보여드려요.

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★ 함께 받으면 더 정확합니다.