GSEM 시험분석센터 EDS 분석 안내

EDS 분석, 이런 게 궁금할 때 찾아주세요.

[분석 종류]

01. "이 이물질, 대체 무슨 성분일까?"

점 · 선 · 영역 성분 분석 (Point / Line / Area)

보고 싶은 위치를 SEM 이미지에서 직접 찍어 그 부분의 성분을 확인합니다.

한 번에 여러 지점을 분석할 수 있어 정상 부위와 불량 부위를 나란히 비교하기 좋고, 선을 따라 분석하면 층과 층 사이에서 성분이 어떻게 바뀌는지도 확인할 수 있습니다.

이런 걸 알 수 있어요

       ●    특정 위치에 들어 있는 원소의 종류

       ●    원소별 함량(wt%, at%)

       ●    정상부·불량부 성분 비교

       ●    계면을 가로지르는 성분 변화(Line)

분석 예시 (장비 제조사 자료)

EDS 스펙트럼 — 겹친 봉우리를 원소별로 분리한 예시   출처: Bruker (bruker.com)

02. "이 원소는 어디에 몰려 있을까?"

원소 분포 맵핑 분석 (Mapping)

분석 영역 전체를 훑어 원소마다 다른 색을 입혀 지도처럼 보여드립니다.

눈으로는 똑같아 보이는 영역도 성분 차이에 따라 뚜렷하게 구분되어, 편석·오염·확산이 어디서 일어났는지 한눈에 확인할 수 있습니다.

이런 걸 알 수 있어요

       ●    원소별 분포 위치

       ●    특정 원소가 뭉치거나(편석) 퍼진(확산) 영역

       ●    도금·코팅 등 층별 성분 구성

분석 예시 (장비 제조사 자료)

전자 이미지(SE)와 원소별 분포 지도 예시   출처: Bruker (bruker.com)

03. "입자가 몇개, 어떤 크기, 어떤 성분일까?"

입자 · 상 자동화 분석 (ESPRIT Feature)

XFlash 7과 함께 도입한 BRUKER ESPRIT 자동화 기능으로, 넓은 영역의 입자를 하나하나 자동으로 찾아 크기·형태·성분을 측정합니다.

스테이지와 연동해 넓은 면적을 분석하므로, 몇 개만 골라 보는 것이 아니라 통계로 신뢰할 수 있는 결과를 드립니다.

이런 걸 알 수 있어요

       ●    입자의 형태 · 크기 · 개수 · 분포 (형상 정보)

       ●    입자별 원소 조성과 상 구분 (화학 정보)

       ●    대면적 분석을 통한 분포 통계

       ●    동일 조건 반복 분석 (Recipe 저장)

분석 예시 (장비 제조사 자료)

입자를 성분별로 자동 분류(왼쪽)하고 종류별 개수를 그래프로 정리(오른쪽)한 예시   출처: Bruker (bruker.com)

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